光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析之無(wú)塵車(chē)間的特點(diǎn)

2019-12-31 點(diǎn)擊數(shù)：3673

LCD制屏的簡(jiǎn)略流程為：清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線(xiàn)和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。

A、無(wú)塵車(chē)間
潔凈度:
LCD制屏的簡(jiǎn)略流程為：清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線(xiàn)和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。
在本設(shè)計(jì)里是指末端工藝的一些無(wú)塵車(chē)間，其凈化潔凈度一般為千級(jí)或萬(wàn)級(jí)或十萬(wàn)級(jí)。背光屏類(lèi)無(wú)塵車(chē)間主要是這類(lèi)產(chǎn)品的沖壓車(chē)間、組裝等無(wú)塵車(chē)間，其潔凈度一般為萬(wàn)級(jí)或十萬(wàn)級(jí)。
B、室內(nèi)空氣參數(shù)要求：
(1)溫濕度要求：溫度一般為24+2℃，相對(duì)濕度為55+5。
(2)新風(fēng)量大。由于這類(lèi)車(chē)間內(nèi)，人員比較多，可以根據(jù)以下數(shù)值應(yīng)取下列的值：非單向流潔凈室總送風(fēng)量的10-30;補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量;確保室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量≥40m3/h。
(3)送風(fēng)量大。為了滿(mǎn)足潔凈室內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡，需要較大的送風(fēng)量，就300的車(chē)間，吊頂高度為2.5米的，如果是萬(wàn)級(jí)，送風(fēng)量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù)，是≥25次/h);如果是十萬(wàn)級(jí)，送風(fēng)量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù)，是≥15次/h)。

上一條潔凈室中的溫濕度控制

下一條凈化工程中空氣凈化處理方案

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